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从ITO废靶中综合回收In、Sn的试验研究与生产应用

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide,简称TCO)由于同时具有可见光透明和导电性良好的双重特性,因此在光电领域具有十分广泛的应用。铟锡氧化物薄膜(Indium Tin Oxide,简称ITO)是TCO中综合性能最好,应用最广的一种。
ITO靶材的制备就是以氧化铟与氧化锡的混合物(ITO粉末)为原料,经成型、烧结、机械切削与磨整,再与无氧铜背板...
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